在集成电路制造的精密流程中，清洗工艺作为保障高良率与可靠性的基石，其重要性常被低估却贯穿始终。晶圆在储存、搬运及加工过程中，不可避免会附着微米级甚至纳米级的尘埃颗粒与微量杂质——这些污染物若未被彻底清除，将直接导致电路图案缺陷、绝缘膜漏电或金属布线腐蚀，最终引

等离子体 晶圆 戈尼 异丙醇 干燥法 2025-10-26 10:12  2

异丙醇挥发有毒吗？是的，异丙醇挥发后的蒸气属于有毒有害气体，吸入过量可能导致眼鼻喉刺激、头晕、恶心、甚至中枢神经系统损伤。根据GBZ 2.1-2019 工作场所有害因素职业接触限值 第1部分：化学有害因素规定，其PC-TWA限值为350 mg/m³（约130.

蒸气 ppm 异丙醇 gbz 限值 2025-10-10 12:00  4